MEMS

2020年9月11日
精密かつ高速のナノアクチュエータを開発

大阪大学産業科学研究所の神吉輝夫准教授・イタリアCNR研究員Luca Pelligrino氏、Manca Nicola氏・ジェノバ大学Daniele Marré教授との共同研究グループは、二酸化バナジウムの構造相転移を利用したマイクロアクチュエータを開発、ナノレベル精密変位制御・高速動作を世界で初め...

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