川山巌

2017年3月3日
半導体の表面電場を測定する新たな光学的手法を確立

国立研究開発法人産業技術総合研究所【理事長 中鉢良治】(以下「産総研」という)再生可能エネルギー研究センター「研究センター長 仁木栄」太陽光チーム望月敏光研究員、高遠秀尚研究チーム長らと、株式会社SCREENホールディングス「社長 垣内永次」(以下「SCREEN」という)は、国立大学法人大阪大学【総...

2015年9月9日
テラヘルツ波を用いた半導体の新評価手法を開発

大阪大学レーザーエネルギー学研究センターの川山巌准教授らのグループは、株式会社SCREENホールディングスと共同で、レーザー照射によって発生するテラヘルツ波を計測し可視化するレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡(LTEM)により、窒化ガリウム(以下GaN)の表面に存在する欠陥濃度の変化を可視化するこ...

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