ワイドギャップ半導体ウェハ・デバイス等の非接触電気特性評価が可能に

<plone.namedfile.file.NamedBlobImage object at 0x7fed55172c80 oid 0x1406f in <Connection at 7fee2c093eb0>>

2013-10-11

{'items': [{'key': 'term1', 'term': 'エリプソメトリー', 'description': {'blocks': [{'key': '5bcao', 'text': '特定の方向の電場を持つ電磁波を偏光という。偏光の様子は電磁波が試料を透過あるいは反射した際に変化する。この電磁波の偏光状態の変化から試料の誘電特性や光学特性を導出する手法をエリプソメトリーと呼ぶ。透過率あるいは反射率を測定する通常の分光測定では試料測定の他に参照信号測定が必要である。これに対してエリプソメトリーでは、試料を透過あるいは反射した電磁波の偏光状態がわかれば良く、参照信号測定が不要であるため、試料交換を必要とせずに試料の誘電特性を測定できる。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term2', 'term': '偏光子', 'description': {'blocks': [{'key': '7i2nj', 'text': 'フィルターの一種で、入射した電磁波のうち、ある特定の方向の電場成分のみを持つ電磁波を透過させる。電磁波の偏光状態を調べるために不可欠な素子。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term3', 'term': '消光比', 'description': {'blocks': [{'key': 'e79p6', 'text': '偏光子の性能を表す指数で、最も透過率の高い電場方向に対して直交する電場を持つ不要成分の透過を阻止する能力を表す。不要成分が増大すると電磁波の偏光状態の測定において誤差が大きくなる。このためエリプソメトリーでは優れた消光比の偏光子を用いることで測定精度が向上する。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}]}

['ile']

['長島健']