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  1. テラヘルツ・エリプソメーター:世界に先駆けて実用化に成功

    大阪大学レーザーエネルギー学研究センターの長島健 助教と日邦プレシジョン株式会社(山梨県韮崎市、代表取締役社長、古屋賞次)のグループは、半導体等の各種材料物性評価に有効なテラヘルツ分光法にエリプソメトリーを適用したテラヘルツ・エリプソメーターの実用化に世界に先駆けて成功しました。 ...

    存在位置 大阪大学発 自慢の研究をあなたに / 2013
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