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高精度テラヘルツエリプソメトリにより GaNやSiCなどの半導体評価精度を10倍以上に向上
大阪大学レーザー科学研究所の中嶋誠准教授、Agulto, Verdad C. (アグルト, ヴァーダッド C.)特任研究員、Mag-usara, Valynn K. (マグウサラ, ヴァリン ...
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2021
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テラヘルツ・エリプソメーター:世界に先駆けて実用化に成功
大阪大学レーザーエネルギー学研究センターの長島健 助教と日邦プレシジョン株式会社(山梨県韮崎市、代表取締役社長、古屋賞次)のグループは、半導体等の各種材料物性評価に有効なテラヘルツ分光法にエリプソメトリーを適用したテラヘルツ・エリプソメーターの実用化に世界に先駆けて成功しました。 ...
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2013
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\電極なしで半導体薄膜の電気的特性を測定/ 光の反射係数の再定式化で半導体薄膜の性能を瞬時に評価
大阪大学大学院基礎工学研究科の大学院生・岡本章宏さん(博士前期課程)、永井正也准教授、芦田昌明教授らの研究グループは、日邦プレシジョン(株)との共同研究により、半導体薄膜の電気的特性を非接触・非破壊で評価できる新しい光学的解析モデルを世界で初めて提案しました。 ...
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2026