阪大発のテラヘルツ波放射顕微鏡が半導体3次元集積回路開発を加速する

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2021-03-25

engineering

{'items': [{'key': 'l2ot', 'term': 'シリコン貫通電極（TSV）', 'description': {'blocks': [{'key': '70ie3', 'text': ' シリコン半導体チップの内部を垂直に貫通する電極のことで、Through-Silicon ViaよりTSVと呼ばれる。本研究では、特に3次元集積回路におけるTSVを対象としている。シリコンウェファーに、垂直に、様々な直径・深さの穴（ビア）を掘り、そのビア内の壁に、絶縁層を均一に製膜したのち、銅メッキなどで金属電極を埋めることで、作製する。 ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': '2qrgg', 'term': 'フェムト秒レーザー', 'description': {'blocks': [{'key': '8o4ng', 'text': ' 短光パルス発振のレーザーで、その光のパルス幅が、10－14から10－13秒程度で、繰返し周期が数Hzから109Hz程度で、様々なパワーのものがあり、光通信から、計測、加工など様々な場面で応用されている。代表的なものにチタンサファイヤフェムト秒レーザーがあり、パルス幅100fs（10－13秒）、繰返し80MHz程度のものが広く普及している。 ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [{'offset': 27, 'length': 3, 'style': 'SUPERSCRIPT'}, {'offset': 34, 'length': 3, 'style': 'SUPERSCRIPT'}, {'offset': 55, 'length': 1, 'style': 'SUPERSCRIPT'}, {'offset': 142, 'length': 3, 'style': 'SUPERSCRIPT'}], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'b1fno', 'term': 'テラヘルツ電磁波', 'description': {'blocks': [{'key': 'a7b5m', 'text': ' 周波数が１テラ(１兆)ヘルツ前後にある電磁波の総称。１テラヘルツは波長にして約0.3ミリメートルである。光と電波の中間に位置する電磁波であり、光の直進性と電波の透過性双方の性質を併せ持つ。１光子のエネルギーは、X線のそれの１００万分の１相当であり、物質を被曝させることなくイメージングすることができる。がん診断、薬物検査、半導体デバイス検査、食品の品質管理、超高速通信など、多岐に渡る応用利用が期待されている。 ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': '6l2lp', 'term': 'テラヘルツ波放射顕微鏡（LTEM）', 'description': {'blocks': [{'key': '71ue0', 'text': ' フェムト秒レーザーを物質に照射し、光で励起される電荷の移動に伴って、放射されるテラヘルツ波の強度・振幅をマッピングして、電荷の時間的移動をイメージングする顕微鏡。イメージング分解能がテラヘルツ波の波長（㎜オーダー）ではなく、光の波長（μⅿ以下）で決まることから、局所的な電荷の応答・移動を追跡できる点で、他の顕微鏡とは異なるイメージング技術。英語名のLaser Terahertz Emission Microscopeより通称はLTEMと呼ばれる。参考文献：応用物理\u3000第84巻第12号、1101（2015）． ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'fb6d5', 'term': 'IMEC', 'description': {'blocks': [{'key': '8744s', 'text': ' Interuniversity Micro Electronics Center（IMEC）（https://www.imec-int.com/en）：IMECは、ナノエレクトロニクスとデジタル技術において、世界をリードする研究とイノベーションのハブとして機能している研究機関である。マイクロチップ技術におけるIMECのリーダーシップは広く知られており、さらにソフトウェアやICTに関する深い専門知識を組み合わせることで、IMECの研究活動は特徴的なものになっている。また世界トップレベルのインフラ、ローカルおよびグローバルなパートナーとのエコシステムを活用して、ヘルスケア、スマートシティ、モビリティ、物流、製造、エネルギー、教育などのアプリケーション領域において、画期的なイノベーションを生み出している機関である。IMECはベルギーのルーベンに本社を置き、オランダ、台湾、アメリカ、中国、インド、日本にオフィスを構え、フランダース地方の多くの大学にも共同研究開発チームがあり、2019年のIMECの売上高は、6億4,000万ユーロだった。 ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [{'offset': 48, 'length': 27, 'key': 0}], 'data': {}}], 'entityMap': {'0': {'type': 'LINK', 'mutability': 'MUTABLE', 'data': {'href': 'https://www.imec-int.com/en', 'url': 'https://www.imec-int.com/en'}}}}}]}

['ile']

['斗内政吉', '村上博成', '芹田和則', '村上史和']

研究開発において、分析・検査技術は地味な分野ですが、今SDGsで必要とされているように、エネルギーや水の消費を抑えるためには、非常に重要な分野です。我が国の半導体産業が厳しい状況の中、優れたパートナーとの連携が重要と考えています。IMECは最も優れた半導体研究開発集団の一つで、我々が開発してきたLTEMが必要とされ、その有効性が実証されたことは大きな励みとなります。今後、パートナーシップを強化し、半導体研究開発・製造分野での実用化を目指したいと思っています。

斗内政吉

教授

レーザー科学研究所

http://www.dma.jim.osaka-u.ac.jp/view?l=ja&u=6418&k=%E6%96%97%E5%86%85%E6%94%BF%E5%90%89&kc=1&sm=keyword&sl=ja&sp=1