真空環境下でもナノメートル精度の形状制御が可能に

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2019-03-11

engineering

{'items': [{'description': {'blocks': [{'key': '3gsr7', 'text': 'SPring-8に代表される第3世代放射光施設より100～1000倍程度、高輝度な放射光を発生させられる放射光施設（例：スウェーデンMAX IV、ブラジルSIRIUS等、またアップグレードの実施及び計画中の施設としては日本のSPring-8-IIのほか、欧州ESRF-II、米国APS-U,ALS-U等がある）。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term1', 'term': '第4世代放射光施設'}, {'description': {'blocks': [{'key': 'ev72a', 'text': 'OUVC1号ファンドからの出資を受け、2018年2月に東証マザーズに上場した阪大発ベンチャー企業。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term2', 'term': 'ジェイテックコーポレーション'}, {'description': {'blocks': [{'key': '5ajoi', 'text': '真空装置の内壁には様々な不純物（水，油，ガス等）が吸着している。装置チャンバーを真空にすると、これらが放出され真空を悪くする。良い真空を得るためには、真空中でチャンバー壁を加熱し、積極的に放出させる処理（ベーキング）を行う。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term7', 'term': 'チャンバークリーニング時の加熱工程'}, {'description': {'blocks': [{'key': '1urk2', 'text': '兵庫県の播磨科学公園都市にある世界最高輝度の放射光を生み出す施設。SPring-8という名前はSuper Photonring-8 GeV の略。放射光とは、荷電粒子(例えば電子)が磁場の中で曲がる際に放射される光の一種で、その強度が非常に強いことが特徴の一つである(例えばX線領域では、普通のX線発生装置の10億倍)。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term3', 'term': 'SPring-8'}, {'description': {'blocks': [{'key': '2aa28', 'text': '光学系に収差がないときの最小集光サイズ。光は波であるため、有限なレンズで集光させると、レンズによって回折も起こるため、光を集光する限界が存在する。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term5', 'term': '回折限界'}]}

['eng']

['山内和人', '松山智至']