1nmレベルで精密な多層膜鏡作製技術を確立

<plone.namedfile.file.NamedBlobImage object at 0x7f180e018c80 oid 0x1ec4b in <Connection at 7f1869f4bca0>>

2018-11-28

engineering

{'items': [{'key': '7es7p', 'term': 'X線自由電子レーザー', 'description': {'blocks': [{'key': 'f4q2s', 'text': 'X線自由電子レーザー（XFEL: X-ray Free Electron Laser）／XFEL施設SACLA（さくら）', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}, {'key': 'b5s2', 'text': 'SACLAはSPring-8 Angstrom Compact free electron LAserに由来する施設の愛称。2012年3月に供用を開始。兵庫県の播磨科学公園都市にあり、理化学研究所が所有する。X線自由電子レーザーとは、X線領域の波長をもつレーザーのことである。一般的なレーザーとは異なり、物質中から真空中に抜き出された電子（自由電子）を使用してレーザー光を発生させる。XFELの光の特徴は、次の①から④の全ての性質を同時に備えている点である。 ①物質を構成する最小単位である原子とほぼ同じ、微小なサイズ（100億分の1メートル）の波長をもつこと（X線であること） ②光の波が完全にそろっていること（レーザーであること） ③非常に高い輝度をもつこと（大型放射光施設SPring-8よりも10億倍の明るさ） ④超短パルス光であること（カメラのフラッシュのように光の時間幅が短い（100兆分の1秒）こと）', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'description': {'blocks': [{'key': '820pm', 'text': '全反射現象を使わないX線反射鏡では、非常に小さな反射率しか得られない。しかし、反射面が多層構造である場合、そのすべての層でX線を反射させられるため、小さな反射率を補うことができる。この結果、大きな斜入射角であっても高い反射率を実現できる。多層構造は軽元素と重元素を交互に成膜することで作られる。X線を集光するために鏡の形は楕円筒形状をしており、これを直交直列に配置（Kirkpatrick-Baezミラーと呼ばれる）することでX線を1点に集光する。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term2', 'term': '多層膜集光鏡'}, {'description': {'blocks': [{'key': '5tl85', 'text': '光の干渉作用を利用して物の長さや形を精確に測定できる装置。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term3', 'term': '干渉計'}, {'description': {'blocks': [{'key': '6hmgf', 'text': '光の非線形現象とは、入射した光の強度と得られるシグナルの強度が比例しない現象。X線領域では、X線強度が強くなるほど試料が透明になる現象（可飽和吸収）や、2つのフォトンが同時に吸収される現象（2光子吸収）などが観察されている。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term4', 'term': '非線形現象'}, {'description': {'blocks': [{'key': '67kkq', 'text': 'SACLAにて初めて開発されたKirkpatrick-Baezミラー型の集光装置。本グループが中心となって開発。過去のプレスリリースを参照（SPring-8/SACLAウエブサイト） http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2012/121217/ ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [{'offset': 93, 'length': 77, 'key': 0}], 'data': {}}], 'entityMap': {'0': {'type': 'LINK', 'mutability': 'MUTABLE', 'data': {'url': 'http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2012/121217/'}}}}, 'key': 'term5', 'term': '1μm集光装置'}, {'description': {'blocks': [{'key': '25iq5', 'text': 'SACLAにて開発されたKirkpatrick-Baezミラー型の集光装置。本グループが中心となって開発。1020W/cm2の世界一の集光強度を達成した。過去のプレスリリースを参照（SPring-8/SACLAウエブサイト） http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2014/140428/ ', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [{'offset': 114, 'length': 77, 'key': 0}], 'data': {}}], 'entityMap': {'0': {'type': 'LINK', 'mutability': 'MUTABLE', 'data': {'url': 'http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2014/140428/'}}}}, 'key': 'term6', 'term': '50nm集光装置'}, {'description': {'blocks': [{'key': '9rga1', 'text': 'プールの中から水面を見ると鏡のように見える現象。X線領域では物質の屈折率は1以下であるため全反射現象を利用したX線全反射鏡が実現できる。全反射現象では高い反射率が期待できるため、全反射集光鏡は、屈折レンズや回折レンズよりも効率的にX線を集めることができる。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term7', 'term': '全反射現象'}, {'description': {'blocks': [{'key': 'f2bak', 'text': 'マグネトロンスパッタリングとは、磁場によって補足された電子を使って密度の濃いプラズマを生成し、このプラズマで試料中の元素をたたき出す現象をいう。成膜したい金属などの板をスパッタリングすれば、そのたたき出された原子を使って成膜することができる。一般にマグネトロンスパッタ成膜は、高速かつ高安定な成膜が可能であり、また、成膜材料を自由に選択できる利点を持つ。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term8', 'term': 'マグネトロンスパッタ成膜装置'}, {'description': {'blocks': [{'key': 'ateh8', 'text': '水面に小さな水滴を落とすと、同心円の波紋が広がっていくが、この1つ1つの円形の模様が波面である。集光における波面収差とは、波面の中の球面からずれた成分をいう。波面が球面であれば、理想的には光は1点に集まるが、球面からずれていれば光は1点には集まらない。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term9', 'term': '波面収差'}]}

['eng']

['山内和人', '松山智至']