Research Subtitle:
今まで2枚の鏡が必要であった集光サイズを1枚の鏡で実現

Title Image SP:
<plone.namedfile.file.NamedBlobImage object at 0x7f17a4ae4b30 oid 0x1c511 in <Connection at 7f1869fa4bb0>>

Announcement Date
2017-12-01

Research Highlight

Term Index
{'items': [{'description': {'blocks': [{'key': '8cbuh', 'text': 'SPring-8はSuper Photon ring-8 GeVに由来する施設の愛称。兵庫県の播磨科学公園都市にあり、理化学研究所が所有する。世界最高性能の放射光を発生することができ、1997年より大学、研究機関や企業などによる利用が開始された。放射光とは、光とほぼ等しい速度まで加速した電子が強力な磁石により曲げられたときに発生する電磁波のことである。SPring-8では、赤外線から軟X線、硬X線に至る幅広いエネルギー領域において非常に強力な放射光を利用することができる。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term1', 'term': '大型放射光施設SPring-8 '}, {'description': {'blocks': [{'key': 'fe837', 'text': 'X線自由電子レーザー施設SACLA(さくら):', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}, {'key': 'aecdr', 'text': 'SACLAはSPring-8 Angstrom Compact free-electron LAserに由来する施設の愛称。兵庫県の播磨科学公園都市にあり、理化学研究所が所有する。SACLAとSPring-8は同じ敷地内にある。SACLAではX線のエネルギー領域のレーザー(X線自由電子レーザー)を利用することができ、2012年から供用利用が開始された。SACLAのX線レーザーの特徴として、非常に高いピーク輝度(SPring-8よりも10億倍の明るさ)であること、超短パルス光である(カメラのフラッシュのように光の時間幅が短い(100兆分の1秒))ことがあげられる。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term2', 'term': 'X線自由電子レーザー施設SACLA'}, {'description': {'blocks': [{'key': '84d5g', 'text': '本研究で楕円面X線鏡の作製に適用した超精密非球面加工法は、大阪大学で開発されたEEM(Elastic Emission Machining)加工法をベースとしている。加工される表面に対して、加工用の微粒子を供給することで、加工物の表面が原子オーダーの精度で除去され、加工が進行する。加工用の微粒子を、加工物の表面に供給される領域や供給量を制御することで、目的とする形状に原子オーダーの精度で加工が可能である。本研究では、0.05ミリメートルの微小なノズルの口から加工用の微粒子が混ぜられた加工液を吐出することで、0.1ミリメートルサイズの局所的な領域を加工する技術を鏡作製に利用した。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term3', 'term': '非球面加工'}, {'description': {'blocks': [{'key': '9nj3', 'text': '2次元的に急峻に傾斜した形状をもつ楕円面鏡を、目的とするナノメートル精度で加工するためには、あらかじめ除去する加工量、すなわち、鏡の表面がどれくらい目標形状からずれているか(凹凸があるか)を知る必要がある。このため、鏡の作製には表面形状計測が必須となる。本研究では、顕微鏡タイプの干渉計(光の可干渉作用を利用して位相情報を抽出する装置)を利用して楕円面ミラーの0.5ミリメートル×0.7ミリメートルの部分的な領域の形状データを取得した。さらに、本研究で開発した楕円面形状に対応可能な専用のスティッチング(つなぎ合わせ)方式によって、部分的な領域の形状データをつなぎ合わせることで、楕円面鏡の全体形状を導出した。これにより、測定再現性が1ナノメートルの高精度形状計測が、楕円面鏡に対して可能となった。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term4', 'term': '表面形状計測'}]}

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['山内和人']

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