<plone.namedfile.file.NamedBlobImage object at 0x7fe8116cdba0 oid 0x1d79c4 in <Connection at 7fe889338c40>>

2017-09-19 00:00:00

{'items': [{'key': 'term1', 'term': '走査トンネル顕微鏡', 'description': {'blocks': [{'key': '3raqu', 'text': '導電性を有する試料表面に、先の尖った金属探針を原子間距離程度まで近づけた時に流れるトンネル電流を利用して、試料表面に沿った凹凸を原子分解能で顕微観察する装置。空間分解能は表面水平方向が約10pm（ピコメートル：1兆分の1メートル）以下、垂直方向が約1pm以下。原子の大きさは100pm=0.1nm（ナノメートル：10億の1メートル）程度。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term2', 'term': '切削側面', 'description': {'blocks': [{'key': '1266o', 'text': 'シリコン基板表面にレジストをパターン化し、エッチングガスを用いて未レジスト部を基板下方向に切削する。レジスト部・未レジスト部の境界が、切削側面として基板表面垂直に切り出される。エッチング条件を調整しない限り、この切削側面の凹凸は粗い。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term3', 'term': 'ムーアの法則', 'description': {'blocks': [{'key': 'epuji', 'text': '集積回路上のトランジスタ数は18か月毎に2倍に増えるという経験則。1960年代から提唱され現在までおよそこのトレンド（2017年で細線幅が10nm程度）にある。しかし細線幅自身の原子サイズでの限界、リーク電流や揺らぎなど種々の問題のため、二次元構造を維持した微細化には限界が見え始めている。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term4', 'term': '電子ビーム回折', 'description': {'blocks': [{'key': 'c5oht', 'text': '電子ビームのもつ波動性を利用して、結晶表面の原子配列の周期性を測定する方法。測定範囲は電子ビーム径。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}, {'key': 'term5', 'term': 'ステップ・テラス構造', 'description': {'blocks': [{'key': 'hv8u', 'text': '現実の表面は結晶面からわずかに傾いており、原子一層分の段差（ステップ）と原子レベルで平坦な領域（テラス）の繰り返しで構成される。 図1 の顕微鏡像はまさにこのステップ・テラス構造を表している。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}}]}

['isir']

['田中秀和', '服部梓']