極小 X 線集光ビームの形状を計測する新手法を確立

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2020-07-01 00:00:00

engineering

{'0': {'description': {'blocks': [{'key': '6r5a1', 'text': '全反射現象を使わないX線反射鏡では、非常に小さな反射率しか得られない。しかし、反射面が多層構造である場合、そのすべての層でX線を反射させられるため、小さな反射率を補うことができる。この結果、大きな斜入射角であっても高い反射率を実現できる。多層構造は軽元素と重元素を交互に成膜することで作られる。本研究では、X線を集光するために鏡の形は楕円筒形状をしており、これを直交直列に配置(Kirkpatrick-Baezミラーと呼ばれる)することでX線を1点に集光する。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term1', 'term': '多層膜集光鏡'}, '1': {'description': {'blocks': [{'key': '1p969', 'text': '(XFEL:X-rayFreeElectronLaser)/XFEL施設SACLA(さくら)：SACLAはSPring-8 Angstrom Compact free electron LAserに由来する施設の愛称。2012年3月に供用を開始。兵庫県の播磨科学公園都市にあり、理化学研究所が所有する。X線自由電子レーザーとは、X線領域の波長をもつレーザーのことである。一般的なレーザーとは異なり、物質中から真空中に抜き出された電子(自由電子)を使用してレーザー光を発生させる。XFELの光の特徴は、次の①から④の全ての性質を同時に備えている点である。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term2', 'term': 'X線自由電子レーザー'}, '2': {'description': {'blocks': [{'key': '5ri06', 'text': '(多層膜鏡集光光学系の開発)／本研究グループがSACLAにて開発した多層膜Kirkpatrick-Baezミラー型の集光システム。波面収差の測定から6nmの集光が可能な集光鏡に成功した。しかし、実際の集光径を評価するには至っていなかった。過去のプレスリリース(2018年11月28日)を参照(SPring-8/SACLAウエブサイト)。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term3', 'term': '多層膜集光鏡の開発'}, '3': {'description': {'blocks': [{'key': 'bpgqh', 'text': '可干渉性の高いX線を試料に照射すると複雑な模様を持つ散乱光が生じる。この複雑な模様は干渉現象によって生じており、スペックルと呼ばれる。スペックルは試料と照明光に依存した模様を持つ。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term4', 'term': 'コヒーレントX線散乱により生じる干渉模様(スペックル)'}, '4': {'description': {'blocks': [{'key': '7at8e', 'text': '光の非線形現象とは、入射した光の強度と得られるシグナルの強度が比例しない現象。X線領域では、X線強度が強くなるほど試料が透明になる現象(可飽和吸収)や、2つのフォトンが同時に吸収される現象(2光子吸収)、などが観察されている。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term5', 'term': '非線形現象'}, '5': {'description': {'blocks': [{'key': '24b5c', 'text': '本研究グループ(大阪大学、理化学研究所、JASRI)で開発した超精密X線鏡作製技術。微粒子を使った局所研磨法(EEM)や特殊な干渉計(MSI、RADSI)、成膜技術などがある。表面粗さ0.1nmの平滑性を持ちながら、1nmの形状精度を持つX線鏡の作製が可能となった。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term6', 'term': '集光鏡作製技術'}, '6': {'description': {'blocks': [{'key': 'd4tlh', 'text': '（ナイフエッジスキャン法）／ビーム形状(光、電子、イオンなど)を計測するための手法の一つ。ビームの中にナイフの刃のような鋭い物体を徐々に挿入していきながらその下流側でビーム強度を測定する。ナイフの刃の位置に対するビーム強度を記録し、これを微分すると、ビーム形状を定量的に決定できる。しかし、通常は一次元のビーム形状しか測定できない点や、ビームやナイフの刃の位置が変動したりすると、正しく計測することはできない。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term7', 'term': 'ナイフエッジ法'}, 'items': [{'description': {'blocks': [{'key': '6r5a1', 'text': '全反射現象を使わないX線反射鏡では、非常に小さな反射率しか得られない。しかし、反射面が多層構造である場合、そのすべての層でX線を反射させられるため、小さな反射率を補うことができる。この結果、大きな斜入射角であっても高い反射率を実現できる。多層構造は軽元素と重元素を交互に成膜することで作られる。本研究では、X線を集光するために鏡の形は楕円筒形状をしており、これを直交直列に配置(Kirkpatrick-Baezミラーと呼ばれる)することでX線を1点に集光する。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term1', 'term': '多層膜集光鏡'}, {'description': {'blocks': [{'key': '1p969', 'text': '(XFEL:X-rayFreeElectronLaser)/XFEL施設SACLA(さくら)：SACLAはSPring-8 Angstrom Compact free electron LAserに由来する施設の愛称。2012年3月に供用を開始。兵庫県の播磨科学公園都市にあり、理化学研究所が所有する。X線自由電子レーザーとは、X線領域の波長をもつレーザーのことである。一般的なレーザーとは異なり、物質中から真空中に抜き出された電子(自由電子)を使用してレーザー光を発生させる。XFELの光の特徴は、次の①から④の全ての性質を同時に備えている点である。', 'type': 'unstyled', 'depth': 0, 'inlineStyleRanges': [], 'entityRanges': [], 'data': {}}], 'entityMap': {}}, 'key': 'term2', 'term': 'X線自由電子レーザー'}, {'description': {'blocks': [{'key': '5ri06', 'text': 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['eng']

['山内和人', '井上陽登', '松山智至']